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다이아몬드 웨이퍼의 단단하고 연마의 난이도가 높은 재료를 플라즈마 지원 연마기술로 다이아몬드 웨이퍼의 연마와 표면 거칠기를 1nm이하로 폴리싱이 가능한 장치로 새로운 다이아몬드 웨이퍼 분야의 고객에게 필수적인 장치입니다. 상세 보기관리자 2026-02-23 14 -
실리콘 카바이드(SiC) 웨이퍼의 단단하고 연마의 난이도가 높은 재료를 전기 화학 기계 연마기술로 SiC 웨이퍼의 연마와 표면 거칠기를 1nm이하로 폴리싱이 가능한 장치로 새로운 SiC 웨이퍼 분야의 고객에게 필수적인 장치입니다. 상세 보기관리자 2026-02-23 12 -
LN/LT/Si 웨이퍼의 기능성 재료를 원자 스케일로 평탄화 작업이 가능한 장치로 0.1nm이하의 원자 수준에서 매끄러운 표면이 요구되는 반도체 재료에 최적인 장치 입니다. 상세 보기관리자 2026-02-23 16 -
수정진동자 웨이퍼 및 각종 막 웨이퍼에서 막 두께 분포의 균일성을 고밀도 플라즈마를 이용한 기상화학 식각으로 고효율이면서 왜곡 없는 가공이 되는 최적의 장치 입니다. 상세 보기관리자 2026-02-23 12 -
다이아 코트 부품용 연마와 단결정,다결정 다이아몬드 웨이퍼용으로 제작하여 프로세스 개발과 시험생산이 가능하며, 단결정 다이아몬드 웨이퍼에 PAP처리를 통한 표면거칠기 개선이 되는 연마장치 입니다. 상세 보기관리자 2026-01-23 25