기존 정전 척의 상식을 깨는 코드리스형 캐리어 타입. 파워반도체 제조라인에 투입함으로써 극박 반도체 제조를 가능하게 하고, 보다 에너지 손실이 적은 고성능 IGBT나 MOSFET 제조를 실현하는 것이 가능해집니다. 제조라인 투입을 위한 자동기를 포함한 시스템으로 제안합니다. 상세보기

흡착력의 강화로, 박화가 진행되는 디스플레이용 유리 등의 깨지기 쉬운 워크나, 주름이 발생하는 필름이나 금속박 등의 가공 난이도가 높은 워크의 유지·가공을 가능하게 하여, 제조 현장의 생산성을 높입니다. 상세보기

소형 박물 워크 흡착용 핸디 타입 「소프트 팜」, 정전 척과 전원을 일체화한 「코드리스 홀더」, 인쇄기내의 롤러의 대체용 「정전 벨트」 등, 다양한 응용 제품이 있습니다. 상세 보기