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웨이퍼 상온접합 장치 MWB-04/06/08-AX
작성자 관리자
날짜 2026-02-11 10:38:18
완전 자동화 장치이며 레시피 관리로 다양한 부품과 공정 조건을 설정하여 웨이퍼를 접합할 수 있습니다.
4, 6, 8인치 대응.
상세보기
제품의 특징
제품의 특징
- ◆ 클린룸 상온에서의 웨이퍼 접합으로 냉각 불필요.
- ◆ 고온 가열을 하지 않으므로 웨이퍼의 열변형 없음.
- ◆ 웨이퍼 표면활성화를 이용한 접합으로 접합 매개체 불필요..
- ◆ 상온 접합에서 우수한 접합 강도 및 기계적 강도 확보.
- ◆ 다양한 재료의 접합 가능.
제품의 주요사양
| 항목 | 사양 |
|---|---|
| 작업 수량 | 12세트 (12접합) |
| 웨이퍼 사이즈 | 4인치 / 6인치 / 8인치 |
| 작업 | 완전자동 / 반자동 |
| 얼라이먼트 정도 | ±2㎛ |
| 스테이지 정도 | XY : 위치결정 유니트 100nm Θ : 위치결정 유니트 1° |
| 표면활성화 | Ion gun / FAB gun |
| 압력 하중 | 최대 10톤 |
| 얼라이먼트 조명 | IR 투과 / 낙사 |
| 챔버 진공 | 공정 챔버 : 1.0×10-5 Pa |
| 로드락 챔버 : 1.0×10-3 Pa |