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대기압 플라즈마 가공기술 장치 (PCVM 장치)
작성자 관리자
날짜 2026-02-23 16:12:02
조회수 14
수정진동자 웨이퍼 및 각종 막 웨이퍼에서 막 두께 분포의 균일성을 고밀도 플라즈마를 이용한 기상화학 식각으로 고효율이면서 왜곡 없는 가공이 되는 최적의 장치 입니다.
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제품의 특징
- ◆ 고밀도 플라즈마를 이용한 기상화학 식각 방식.
- ◆ 고효율이면서 왜곡 없는 가공을 실현.
- - 반도체 디바이스 제조에 이용되는 진공 혹은 저압 플라즈마와 비교하여 고압력의 플라즈마를 이용함으로써 고효율이면서 왜곡 없이 가공을 실현.
제품의 활용사례
- ◆ 수정 진동자의 웨이퍼 가공 시스템.
- ◆ 박판 가공, 두께 균일화가 요구되는 SAW 필터용 웨이퍼, SOI웨이퍼에도 대응.
