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플라즈마 지원 연마기술 폴리싱 장치 (PAP 장치)
작성자 관리자
날짜 2026-02-23 16:16:07
조회수 16
다이아몬드 웨이퍼의 단단하고 연마의 난이도가 높은 재료를 플라즈마 지원 연마기술로 다이아몬드 웨이퍼의 연마와 표면 거칠기를 1nm이하로 폴리싱이 가능한 장치로 새로운
다이아몬드 웨이퍼 분야의 고객에게 필수적인 장치입니다.
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제품의 특징
- ◆ 독자적인 연마 방법인 PAP는 단결정 다이아몬드 등의 난가공 재료에 적용 가능.
- ◆ 20mm각의 세계최대 모자이크 단결정 다이아몬드 웨이퍼를 고효율, 손상 없이 연마하는데 성공.
제품의 활용사례
- ◆ 다이아 코트 부품용
- - 제조장치 납입 및 시험생산 평가로 가동 중.
- - 개발 전용 장치를 개발.
- - 프로세스 개발과 시험생산 테스트 대응 중.
