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CVD 다이아몬드 연마장치 MT-500 시리즈
작성자 관리자
날짜 2026-02-11 11:17:37
CVD, PCD, PCBN의 다이아몬드 웨이퍼를 건식 공정에서 작업 중에 액체를 사용하지 않고, 효율적으로 경면 연마에 최적인 장치입니다.
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제품의 특징
제품의 특징
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◆ CVD, PCD, PCBN용 경면 연마에 적합함.
◆ 드라이 프로세스로 작업 중에 액체를 사용하지 않고, 효율적이며 환경 친화적입니다.
◆ 연마와 헤드에 수냉 시스템 탑재.
◆ 고출력의 서보 모터.
◆ 6인치 워크를 2장 동시에 가공 가능.
◆ 연마 시작 전에 스핀들의 하중 및 속도 등을 조정할 수 있음.
◆ 연석 드레싱 기능 탑재.
◆ 실시간으로 온도를 감시.
제품의 주요사양
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항목 |
사양 |
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작업 수량 |
2매 |
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웨이퍼 사이즈 |
6인치 |
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홀 지름 |
500㎜ |
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표면 거칠기 |
≤5nm |
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회전 속도 |
0~1500rpm |
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압력 |
5~50㎏ |
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연마 |
80# (선택 가능) |
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출력 |
20kw |