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CVD 다이아몬드 연마장치 MT-500 시리즈

작성자 관리자 날짜 2026-02-11 11:17:37
CVD, PCD, PCBN의 다이아몬드 웨이퍼를 건식 공정에서 작업 중에 액체를 사용하지 않고, 효율적으로 경면 연마에 최적인 장치입니다. 상세보기
제품의 특징
 
제품의 특징

  • ◆ CVD, PCD, PCBN용 경면 연마에 적합함.

    ◆ 드라이 프로세스로 작업 중에 액체를 사용하지 않고, 효율적이며 환경 친화적입니다.

    ◆ 연마와 헤드에 수냉 시스템 탑재.

    ◆ 고출력의 서보 모터.

    ◆ 6인치 워크를 2장 동시에 가공 가능.

    ◆ 연마 시작 전에 스핀들의 하중 및 속도 등을 조정할 수 있음.

    ◆ 연석 드레싱 기능 탑재.

    ◆ 실시간으로 온도를 감시.

제품의 주요사양

항목

사양

작업 수량

2매

웨이퍼 사이즈

6인치

홀 지름

500㎜

표면 거칠기

≤5nm

회전 속도

0~1500rpm

압력

5~50㎏

연마

80# (선택 가능)

출력

20kw
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