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TGV용 Laser Drilling 장치

작성자 관리자 날짜 2026-02-11 11:27:38
Laser Drill 장치는 최첨단 3D IC 패키징 분야의 선도적인 고객들이 검증한 TGV(Through Glass Via) 기술로 당사의 TGV 지원 유리 인터포저, 유리 코어 및 유리 기판은 FOPLP, RF, MEMS, 포토닉스 IC를 포함한 차세대 반도체 장치에 탁월한 성능을 제공하는 장치입니다. 상세보기
제품의 특징
 
제품의 특징
  • 최소 Hole 직경 달성 : ~ 10 um

    조절 가능한 Hole Profile : 모래시계 모양 또는 직선형 벽 (옵션)

    높은 종횡비(Aspect Ratio) : 요청 시 최대 1: 30 이상.

    미세한 내벽 거칠기 : Ra < 0.1 um and Rz < 0.2 um.

    Hole 입구 및 출구 진원도 : 거의 100% 완벽한 Hole 원형 형성.

    최소 Chipping : 일반 < 10um 또는 없음.

    미세 균열 발생 없음 : 구조적 취약성을 예방하고 신뢰성을 향상.

    높은 균일성과 수율 : 모든 응용 분야에서 거의 100%수율달성.

    고정밀의 Hole 위치 : 서브미크론 정확도까지 달성 가능.

    안정적인 반복 기능 : 대량 생산을 위한 검증되고 성숙한 프로세스.

제품의 활용사례
  • 고급 Semi. 2.5D 3D packaging

    5G, 6G LEO RF 통신 기판

    Glass Interposers Glass Core

    MEMS

    통합 수동 소자 ( IPDs: Integrated Passive Devices )

    공동 패키지 포토 소자 (CPO: Co-packaged photo device )

    Silicon Photonics packaging