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ESC(정전 척) 스테이지
작성자 관리자
날짜 2026-02-11 15:24:43
흡착력의 강화로, 박화가 진행되는 디스플레이용 유리 등의 깨지기 쉬운 워크나, 주름이 발생하는 필름이나 금속박 등의 가공 난이도가 높은 워크의 유지·가공을 가능하게 하여, 제조 현장의 생산성을 높입니다.
상세보기
제품의 특징
생산 설비용 흡착 스테이지로 제공하는 정전 척입니다.
제품의 특징
특수 환경(진공 가열 환경)용부터 기종 교체가 자유 용도 등 얇고 취약한 다공질 소재의 흡착 툴로 이용되고 있습니다.
전용 DC 전원도 세트로 판매하고 있어, 운용 프로세스 작업 사이즈에 맞추어 시스템을 제안합니다.
제품용도 및 사용처
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항목 |
내용 |
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대상물 |
반도체 웨이퍼, 금속막, 글라스, 필름, 다공질 소재 |
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흡착대상 제품 |
스마트폰, 태블릿, PC, TV용 패널, 반도체, 전자부품, 연료전지 |
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흡착대상 재질 |
유리,필름,Si,금속박,종이,세라믹 등 |
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흡착대상 응용 |
성막 장치, 에칭 장치, 진공부착 장치, 검사 장치, 각종 반송 장치 |
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ESC 스테이지 구성방안 |
정전 척 흡착부 전용 DC전원 |
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