정전 척의 상식을 바꾸는 급전 유니트 없이 흡착유지 가능한 캐리어 타입 반도체 제조공정에 혁명을 가져옵니다.

제품의 특징

Supporter는 강도가 있는 기재의 양면에 특수한 소재를 끼워 넣어 일체로 형성한 정전 척으로, 반도체 제조공정에서 웨이퍼를 써포트하기 위해 사용하는 지그(캐리어)로 이용합니다.

TSUKUBA 정공의 기존 정전 척이 갖는 특색에 더해 급전 유닛에서 분리해도 흡착력을 유지하는 특색을 갖추고 있습니다.

급전 유닛을 사용해 한 번 전계를 걸면 유지력은 반영구적으로 유지되며 대상물을 'Supporter'에서 분리할 때는 한 번 더 급전 유닛을 사용해 전계를 해제하면 언제든지 'Supporter'와 대상물을 분리할 수 있습니다.

제품용도 및 사용처